Das Sputter-Target aus Titanlegierung und Titanmetall bestehen aus Titan, daher sind die Informationen ungefähr gleich, aber der Unterschied zwischen den beiden liegt hauptsächlich darin, dass das Sputter-Target aus Titanlegierung auf verschiedene Weise aus Titanmetall besteht und Titan in der Natur als a vorkommt Titanerz.Titanlegierungsziele können in vielen Berufsgruppen weit verbreitet sein, Jetzt fasste der Autor von Beijing richmat mehrere gängige Titanlegierungsziele in Bezug auf die Verwendung der Situation zusammen, um uns eine detaillierte Einführung zu geben.
一、Ti-Targets für integrierte Schaltkreise
Die Anforderungen für das Sputtern von Titanlegierungs-Targets sind bei nicht integrierten Schaltungen und integrierten Schaltungen unterschiedlich.Im Allgemeinen haben integrierte Schaltkreise höhere Anforderungen an Beschichtungsdaten, wie z. B. höhere Reinheit, kleinere Korngröße und genauere Skalengenauigkeit. Die Reinheit von Titantargets in integrierten Schaltkreisen beträgt mehr als 99,995 %, was höher ist als die in nicht integrierten Schaltkreisen Schaltkreise, was darauf hinweist, dass die Anforderungen für verschiedene Verwendungen von Titanzielen sehr unterschiedlich sind.
二、Ti-Target für Flachbildschirme
Titanlegierungs-Targets, die in Flachbildschirmen verwendet werden, umfassen Flüssigkristalldisplays, Plasmadisplays, Elektrolumineszenzdisplays und Feldemissionsdisplays. Der Dünnfilm des Flachbildschirms ist ein Sputterformverfahren, Al, Cu, Ti und Mo sind die primären Metall-Sputtertargets für Flachbildschirme Displays. Die Reinheit von Targets aus Titanlegierungen für Flachbildschirme beträgt normalerweise mehr als 99,9 %.
三、Ti-Targets für Dekorationsmaterialien
Hochreines Titanlegierungs-Targetmaterial hat eine ausgezeichnete Luftkorrosionsbeständigkeit, langfristige Verwendung in der Luft ändert die Farbe nicht, um sicherzustellen, dass die ursprüngliche Farbe von Titan und menschlichem Kontakt nicht allergisch ist, und andere hervorragende Eigenschaften.Daher kann hochreines Titan in den letzten Jahren auch als Dekorationsmaterial verwendet werden, z. B. für Armbänder, Uhren und Brillen und andere Ornamente, bei denen die Titanreinheit das 5N-Niveau erreicht hat.
四、Ti-Targets für Ultrahochvakuumpumpsysteme
Als chemisch aktives Metall kann Titan bei hohen Temperaturen mit vielen Elementen und Verbindungen reagieren.Das Target aus hochreiner Titanlegierung hat eine starke Adsorptionskapazität für aktive Gase (wie O2, N2, CO, CO2, Wasserdampf über 650 °C), und der an der Pumpenwand verdampfende Ti-Film kann eine Oberfläche mit hoher Adsorptionsleistung bilden .Aufgrund dieser Eigenschaft wird Ti häufig als Getter in Ultrahochvakuum-Gasextraktionssystemen verwendet. Wenn es zur Verbesserung der Pumpe, der Sputter-Ionenpumpe usw. verwendet wird, kann es den endgültigen Betriebsdruck der Sputter-Ionenpumpe auf 10-9PA senken
Postzeit: 25. April 2022