Mit der Entwicklung der Industrietechnologie wird auch die Qualität der für die industrielle Produktion erforderlichen Targets immer höher, da die Qualität der Targets direkt die Leistung von Magnetron-Sputter-Filmen beeinflusst.Heutzutage bevorzugen Unternehmen beim Kauf von Targets im Allgemeinen die Verwendung von Targets mit hoher Dichte und einheitlicher Zusammensetzungsstruktur für die Sputterbeschichtung, um das mehrfache Zusammennähen von Targets zu reduzieren und die Qualität von Sputterbeschichtungen zu verbessern. Daher muss der Hersteller des Targets streng sein kontrollieren Sie die Qualität des Ziels. Jetzt lassen Sie den Redakteur von PekingRichmatSie verstehen, welche Faktoren die Qualität des Ziels beeinflussen.
1、Der Einfluss von Prozessparametern auf die Qualität des Targets
Zu den Prozessparametern gehören hauptsächlich Kaltpressdruck, Druckbeaufschlagungsgeschwindigkeit und Entformungsgeschwindigkeit sowie andere Parameter.Wenn das Ziel kaltgepresst wird, wirkt sich der Druck direkt auf die Qualität des Zielrohlings aus;Die Druckbeaufschlagungsgeschwindigkeit hat einen großen Einfluss auf die Schichtung des Zielrohlings, und der Anfangszustand, wenn das Pulver gleichmäßig in die Negativform gefüllt wird, ist ein lockerer Zustand, der viele Poren und Gase aufweist, und das Ablassen von Gasen dauert einen Zeitraum von Zeit.
2、DasEinfluss von Schimmelpilzen auf die Zielqualität
Auch die Form hat einen gewissen Einfluss auf die Umformung des Zielrohlings.Zu den Haupteinflussfaktoren gehören die Oberflächenbeschaffenheit der Innenseite der Form, der Spalt zwischen dem Stempel und dem Formhohlraum usw. Wenn der Spalt zu groß ist, kommt es zum Auslaufen und Austreten von Pulver, wodurch die Grenzdichte verringert wird des Rohlings niedrig und Qualitätsprobleme wie Kantenabfall beim Entformen.
3、Der Einfluss der Materialfeuchte auf die Qualität des Targets
Die im Pulver des Zielmaterials enthaltene Feuchtigkeit ist der Wirkung des Schmiermittels äquivalent, und seine Anwesenheit kann die Reibung zwischen den Partikeln verringern, was der effektiven Übertragung des Kaltpressdrucks förderlich ist und auch einem glatten Gleiten und Gleiten förderlich ist Umlagerung zwischen den Pulverpartikeln.Wenn der Wassergehalt jedoch zu gering oder zu hoch ist, beeinträchtigt dies die Qualität des Targets.
Wenn der Wassergehalt im ITO-Pulver weniger als 2 % beträgt, wird die Wahrscheinlichkeit von Qualitätsproblemen wie Kantenverlust und Delaminierung des Zielmaterials stark erhöht, wenn andere Bedingungen wie Kaltpressdruck und Bindemittelgehalt gleich sind. Wenn das Wasser Der Gehalt im ITO-Pulver beträgt mehr als 10 %, bei gleichem Kaltpressdruck, Bindemittelgehalt und anderen Bedingungen, obwohl die Pulverpartikel leichter rutschen und sich neu anordnen, wird Wasser aus dem Inneren der Form abgegeben, was das Problem des Herunterfallens verursacht Kanten um den Zuschnitt des Zielmaterials.Die Ergebnisse zeigen, dass bei einem Wassergehalt des Pulvers zwischen 3 % und 6 % die Qualität des Rohlings effektiv kontrolliert wird.
4、Auswirkung des Bindemittelgehalts auf die Zielqualität
Die Menge des eingearbeiteten Bindemittels hat einen großen Einfluss auf die Qualität des Zielmaterials.Wenn die Einbaumenge weniger als 1 % beträgt, wird der Zielrohling ein sehr ernsthaftes Qualitätsproblem haben, zu diesem Zeitpunkt zeigt sich die Wirkung des Bindemittels nicht und es hat wenig Einfluss auf die Verbesserung der Festigkeit des Zielrohlings Durch die Erhöhung des Bindemitteleinbaus auf 2 % und 3 % wird die Festigkeit des Zielmaterials erhöht und das Qualitätsproblem des Zielmaterials stark reduziert.Wenn jedoch das Bindemittel zu 4 % eingearbeitet wird, verschwindet zwar das Qualitätsproblem des kaltgepressten Rohlings des Zielmaterials, aber das Zielmaterial delaminiert gelegentlich während des anschließenden Entformungsvorgangs.
Postzeit: 22. April 2022