Niv Sputtering Target Hochreine Dünnschicht-PVD-Beschichtung nach Maß

Gold wird oft bei der Abscheidung von integrierten Schaltungsschichten verwendet, aber eine niedrigschmelzende AuSi-Verbindung wird oft gebildet, wenn Gold mit Silizium kombiniert wird, was zu einer Lockerung zwischen verschiedenen Schichten führen würde.Reines Nickel ist eine gute Wahl für die Haftschicht, während zwischen der Nickel- und der Goldschicht auch eine Barriereschicht erforderlich ist, um eine Ausbreitung zu verhindern.Vanadium könnte diese Anforderung mit einem hohen Schmelzpunkt und einer hohen Amperedichte perfekt erfüllen.Daher sind Nickel, Vanadium und Gold drei Materialien, die normalerweise in der Industrie für integrierte Schaltungen verwendet werden.Nickel-Vanadium-Sputtertargets werden hergestellt, indem Vanadium in geschmolzenes Nickel gegeben wird.Mit niedrigem Ferromagnetismus ist es eine gute Wahl für das Magnetron-Sputtern von elektronischen Produkten, bei denen eine Nickelschicht und eine Vanadiumschicht gleichzeitig hergestellt werden können.