Der Zweck der Zielreinigung besteht darin, eventuellen Staub oder Schmutz von der Oberfläche des Ziels zu entfernen.Jetzt wird Ihnen der Herausgeber von Rich Special Material Co., LTD. (RSM) die vier Schritte zum Reinigen von Metallzielen vorstellen:
Der erste Schritt besteht darin, mit einem fusselfreien, weichen, in Aceton getränkten Tuch zu reinigen.
Der zweite Schritt ähnelt dem ersten Schritt, der Reinigung mit Alkohol;
Schritt 3: Mit entionisiertem Wasser reinigen.Nach dem Waschen mit entionisiertem Wasser wird das Target in einen Ofen gestellt und 30 Minuten lang bei 100 °C getrocknet.Die Oxid- und Keramik-Targets sollten mit einem „fusselfreien Tuch“ gereinigt werden.
Der vierte Schritt besteht darin, das Target mit Argon unter hohem Druck und wenig Wasser zu waschen, um alle Verunreinigungen zu entfernen, die im Sputtersystem einen Lichtbogen bilden könnten.
Hinweis: Tragen Sie beim Umgang mit der Zielscheibe bitte saubere und fusselfreie Wartungshandschuhe, um einen direkten Kontakt mit der Zielscheibe unbedingt zu vermeiden.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 24.06.2022