Gesputterte Molybdäntargets werden aufgrund ihrer inhärenten Vorteile häufig in der Elektronikindustrie, bei Solarzellen, bei der Glasbeschichtung und in anderen Bereichen eingesetzt.Mit der rasanten Entwicklung moderner Technologien in den Bereichen Miniaturisierung, Integration, Digitalisierung und Intelligenz wird die Verwendung von Molybdän-Targets weiter zunehmen und auch die Qualitätsanforderungen an sie werden immer höher.Wir müssen also Wege finden, die Ausnutzungsrate von Molybdän-Targets zu verbessern.Jetzt wird der Herausgeber von RSM verschiedene Methoden vorstellen, um die Auslastung von Sputter-Molybdän-Targets für jedermann zu verbessern
1. Fügen Sie eine elektromagnetische Spule auf der Rückseite hinzu
Um die Ausnutzungsrate des gesputterten Molybdän-Targets zu verbessern, kann eine elektromagnetische Spule auf der Rückseite des planaren Magnetron-Sputter-Molybdän-Targets hinzugefügt werden, und das Magnetfeld auf der Oberfläche des Molybdän-Targets kann durch Erhöhen des Stroms erhöht werden die elektromagnetische Spule, um die Ausnutzungsrate des Molybdän-Targets zu verbessern.
2. Wählen Sie röhrenförmiges rotierendes Zielmaterial
Im Vergleich zu flachen Zielen unterstreicht die Wahl einer röhrenförmigen rotierenden Zielstruktur ihre wesentlichen Vorteile.Im Allgemeinen beträgt die Ausnutzungsrate flacher Targets nur 30 bis 50 %, während die Ausnutzungsrate röhrenförmiger rotierender Targets über 80 % erreichen kann.Darüber hinaus kommt es bei Verwendung des rotierenden Hohlrohr-Magnetron-Sputtertargets zu keiner erneuten Ablagerung auf seiner Oberfläche, da sich das Target ständig um die feste Stabmagnetbaugruppe drehen kann, sodass die Lebensdauer des rotierenden Targets im Allgemeinen mehr als fünfmal länger ist als das des Flugzeugziels.
3. Durch neue Sputterausrüstung ersetzen
Der Schlüssel zur Verbesserung der Ausnutzungsrate von Targetmaterialien liegt im vollständigen Austausch der Sputterausrüstung.Während des Sputterprozesses von Molybdän-Sputtertargetmaterial lagert sich etwa ein Sechstel der Sputteratome an der Wand oder Halterung der Vakuumkammer ab, nachdem sie von Wasserstoffionen getroffen wurden, was die Kosten für die Reinigung der Vakuumausrüstung und die Ausfallzeiten erhöht.Daher kann der Austausch neuer Sputtergeräte auch dazu beitragen, die Auslastung von Sputter-Molybdän-Targets zu verbessern.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 24. Mai 2023