Viele Freunde haben mehr oder weniger Fragen zur Wartung von Targets, und in letzter Zeit haben auch viele Kunden Fragen zu Problemen im Zusammenhang mit der Wartung von Targets. Der Redakteur von RSM teilt uns sein Wissen über die Wartung von Sputtertargets mit.
Wie sollten Sputtertargets gewartet werden?
1、 Zielerhaltung
Um Kurzschlüsse und Lichtbögen zu vermeiden, die durch unsaubere Hohlräume beim Sputterprozess verursacht werden, ist es notwendig, die in der Mitte und auf beiden Seiten der Sputterspur angesammelten Sputterpartikel regelmäßig zu entfernen, was dem Benutzer auch dabei hilft, kontinuierlich mit hoher Leistungsdichte zu sputtern.
2、 Zielspeicher
Wir empfehlen Benutzern, das Target (ob aus Metall oder Keramik) in einer Vakuumverpackung aufzubewahren. Insbesondere muss das passende Target im Vakuum gelagert werden, um zu verhindern, dass die Oxidation der passenden Schicht die Qualität des Fittings beeinträchtigt.Was die Verpackung von Metallzielen angeht, empfehlen wir, diese zumindest in saubere Plastiktüten zu verpacken.
3、 Zielreinigung
Der erste Schritt besteht darin, mit einem fusselfreien, weichen, in Aceton getränkten Tuch zu reinigen.
Der zweite Schritt ähnelt dem ersten Schritt, der Reinigung mit Alkohol;
Schritt 3: Mit entionisiertem Wasser reinigen.Nach der Reinigung mit entionisiertem Wasser wird das Target in den Ofen gestellt und 30 Minuten bei 100 °C getrocknet.Es wird empfohlen, zum Reinigen von Oxid- und Keramikzielobjekten ein „fusselfreies Tuch“ zu verwenden.
Der vierte Schritt besteht darin, das Target mit Argon bei hohem Druck und geringer Luftfeuchtigkeit zu waschen, um alle unreinen Partikel zu entfernen, die einen Lichtbogen im Sputtersystem verursachen könnten.
4、 Kurzschluss- und Dichtheitsprüfung
Nach der Installation des Targets muss die gesamte Kathode auf Kurzschluss und Dichtheit überprüft werden.Es wird empfohlen, mit einem Widerstandsmessgerät und einem Megger zu beurteilen, ob ein Kurzschluss in der Kathode vorliegt.Nachdem sichergestellt wurde, dass kein Kurzschluss in der Kathode vorliegt, kann eine Wasserleckprüfung durchgeführt und Wasser in die Kathode eingeleitet werden, um festzustellen, ob ein Wasserleck vorliegt.
5、 Verpackung und Transport
Alle Ziele sind in vakuumversiegelten Plastiktüten mit feuchtigkeitsbeständigem Mittel verpackt.Bei der Außenverpackung handelt es sich im Allgemeinen um eine Holzkiste mit einer Antikollisionsschicht, um das Ziel und die Rückwandplatine vor Beschädigungen während des Transports und der Lagerung zu schützen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 15. Juli 2022