Aufgrund der hohen Temperaturstabilität, des hohen Elektronenmigrationswiderstands und des hohen Elektronenemissionskoeffizienten von feuerfestem Wolfram und Wolframlegierungen werden Targets aus hochreinem Wolfram und Wolframlegierungen hauptsächlich zur Herstellung von Gate-Elektroden, Verbindungsleitungen, Diffusionsbarriereschichten usw. von Halbleitern verwendet Integrierte Schaltkreise und stellen hohe Anforderungen an die Reinheit, den Gehalt an Verunreinigungselementen, die Dichte, die Korngröße und die Gleichmäßigkeit der Kornstruktur der Materialien.Werfen wir nun einen Blick auf die Faktoren, die die Herstellung eines hochreinen Wolframtargets beeinflussen.
1、 Einfluss der Sintertemperatur
Der Formungsprozess des Wolfram-Zielembryos erfolgt im Allgemeinen durch kaltisostatisches Pressen.Während des Sinterprozesses wächst das Wolframkorn.Das Wachstum des Wolframkorns füllt die Lücke zwischen den Korngrenzen und verbessert so die Dichte des Wolframtargets.Mit zunehmender Sinterzeit verlangsamt sich der Anstieg der Wolfram-Targetdichte allmählich.Der Hauptgrund dafür ist, dass sich die Qualität des Wolframtargets nach mehrmaligem Sintern nicht wesentlich verändert hat.Da die meisten Hohlräume in der Korngrenze nach jedem Sintern mit Wolframkristallen gefüllt sind, war die Gesamtgrößenänderungsrate des Wolframtargets sehr gering, was zu einem begrenzten Raum für eine Erhöhung der Dichte des Wolframtargets führte.Beim Sinterprozess werden die gewachsenen Wolframkörner in die Hohlräume gefüllt, was zu einer höheren Dichte des Targets bei kleinerer Partikelgröße führt.
2、 Auswirkung der Haltezeit
Bei gleicher Sintertemperatur wird die Kompaktheit des Wolframtargets mit der Verlängerung der Sinterhaltezeit verbessert.Mit der Verlängerung der Haltezeit nimmt die Wolframkorngröße zu, und mit der Verlängerung der Haltezeit verlangsamt sich die Wachstumszeit der Korngröße allmählich, was bedeutet, dass eine Erhöhung der Haltezeit auch die Leistung des Wolframs verbessern kann Wolfram-Target.
3、 Auswirkung des Rollens auf die Zieleigenschaften
Um die Dichte des Wolfram-Targetmaterials zu verbessern und die Verarbeitungsstruktur des Wolfram-Targetmaterials zu erhalten, muss das Walzen des Wolfram-Targetmaterials bei mittlerer Temperatur unterhalb der Rekristallisationstemperatur durchgeführt werden.Wenn die Walztemperatur des Zielbarrens hoch ist, wird die Faserstruktur des Zielbarrens grob sein und umgekehrt.Wenn die Warmwalzrate mehr als 95 % erreicht.Obwohl der Unterschied in der Faserstruktur, der durch unterschiedliche ursprüngliche Körner oder unterschiedliche Walztemperaturen verursacht wird, beseitigt wird, bildet die innere Struktur des Targets eine relativ gleichmäßige Faserstruktur. Je höher also die Verarbeitungsrate beim Warmwalzen, desto besser ist die Leistung des Targets
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 15. Februar 2023