Welche Kenntnisse gibt es über die Lagerung und Wartung von Legierungstargets?

Die Zielscheibe ist in einem doppelt vakuumierten Plastikbeutel verpackt.Wir empfehlen Benutzern, das Target, egal ob aus Metall oder Keramik, in einer Vakuumverpackung aufzubewahren. Insbesondere das Bonding-Target muss im Vakuum gelagert werden, um zu verhindern, dass die Oxidation der Bonding-Schicht die Bonding-Qualität beeinträchtigt. Was die Verpackung von Metall-Targets betrifft, bestehen wir darauf, dass die Die Mindestanforderung besteht darin, sie in saubere Plastiktüten zu verpacken.Im Folgenden möchte der Autor von Beijing Richmat mit Ihnen die Lager- und Wartungsfähigkeiten von Legierungszielen erläutern

Die Wartungskompetenzen für Legierungsziele sind wie folgt:

Um Kurzschlüsse und Lichtbögen aufgrund einer unsauberen Kavität im Sputterprozess zu vermeiden, ist es notwendig, die Sputterspurmitte und beide Seiten der Sputteransammlung zu entfernen, was den Benutzern auch dabei hilft, die maximale Leistungsdichte beim Sputtern fortzusetzen.

Schritt 1: Mit einem in Aceton getränkten, vliesfreien Tuch reinigen;

Schritt 2: Mit Alkohol reinigen, ähnlich wie in Schritt 1;

Schritt 3: Mit entionisiertem Wasser waschen.Nach der Reinigung mit entionisiertem Wasser wird das Target 30 Minuten lang in einem Ofen bei 100 Grad Celsius getrocknet.Oxid- und Keramik-Targets werden mit einem „flanellfreien Tuch“ gereinigt.

Schritt 4: Nach dem Entfernen des staubigen Bereichs wird Argon mit hohem Druck und Gas mit geringem Feuchtigkeitsgehalt zum Spülen des Targets verwendet, um alle Verunreinigungspartikel zu entfernen, die im Sputtersystem Lichtbögen bilden können.